Форвакуумные насосы
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Быстрый просмотр
|
|
Принцип работы форвакуумных насосов
В большинстве случаев в качестве форвакуумных используются механические вакуумные насосы. Они работают на принципе объемного всасывания и выталкивания газа, которое обеспечивается вращением роторов устройства. В зависимости от исполнения различают:
- Безмасляные форвакуумные насосы, имеющие бесконтактный принцип действия. В конструкции отсутствуют соприкасающиеся подвижные части, благодаря чему внутренние элементы не подвергаются износу. Для работы устройств не требуется смазки и рабочей жидкости, что обеспечивает чистоту перекачиваемого газа и минимальное техническое обслуживание. Как правило, это сухой пластинчато-роторный, винтовой или спиральный форвакуумный насос, обеспечивающий чистый вакуум.
- В масляных устройствах в рабочей камере присутствуют смазочные материалы. Здесь для уплотнения зазоров применяется специальное вакуумное масло для форвакуумных насосов, которое выполняет сразу несколько функций. Оно уплотняет зазоры между корпусом и пластинами, выступает в качестве смазки для трущихся элементов и обеспечивает герметичность устройству. Для предотвращения загрязнения окружающей среды и миграции масляных паров рабочей жидкости в откачиваемый поток оборудование оснащается обратным клапаном и адсорбционной ловушкой для форвакуумного насоса.
В зависимости от типа оборудования и конструкции некоторые модели могут иметь несколько ступеней сжатия. Наиболее востребованы двухступенчатые форвакуумные насосы благодаря своей более высокой эффективности и производительности при достаточно небольших размерах.
Преимущества и недостатки форвакуумных насосов
Оборудование подбирается строго с учетом специфики технологического процесса. Современные безмасляные форвакуумные насосы используются в случаях, если присутствие масляных паров в перекачиваемой среде недопустимо. Например, при откачке агрессивных и опасных газов. Во всех остальных случаях допускается использование масляных насосов, большинство из которых оснащается газобалластным клапаном, позволяющим использовать оборудование для работы с насыщенными парами и влажными газами.
Все устройства, использующееся в качестве форвакуумных, имеют высокую производительность, способны стабильно работать в течение длительного времени и оснащены всем необходимым для простого подключения и встраивания в высоковакуумную систему. Оборудование обычно имеет максимально простую конструкцию, что обеспечивает ему длительный срок службы и минимальное техобслуживание. По отзывам о форвакуумных насосах наиболее удобны в эксплуатации безмасляные устройства, для которых межсервисный период наиболее продолжительный.
Сферы и области применения
В составе высоковакуумных систем форвакуумные насосы применяются в самых разных отраслях промышленности и научно-исследовательской деятельности:
- при производстве электроники, пластмасс, полупроводников и телекоммуникаций;
- осаждении тонкопленочных покрытий;
- химической, атомной, металлургической и электротехнической промышленности;
- ускорителях частиц, имитаторах космического пространства;
- в лабораторных установках и т.д.